生产与使用过程中要重视防静电

    随着微电子器件的发展，静电对器件可靠性的危害变得越米越显著。防静电瓷砖在这方面，超大规模集成电路的发展，使得器件尺寸进一步缩小，这就使器件的静电变得更加敏感，新发展起来的特种器件如功率 MOS 器件、微波场效应器件，大多属于电敏感器件。另一方面，在微电子器件制造和应用环境中，作为静电来源的各种高分子材料被广泛采用，使得静电的产生更加容易和广泛。

    大多数情况下，器件受到的静电损伤是潜在的，即受到静电作用后电参数仍然合格或仅有轻微变化，但器件抗过电应力的能力己被削弱，或者其使用寿命已明显缩短，而且由静电产生的隐患很难事先察觉，也不可能通过常规老化筛选来予以排除，所以具有相当大的危险性，值得高度重视。

    微电子器件由静电放电引发的失效，可分为突发性失效和潜在性失效两种模式。突发性失效是指器件受到静电放电损伤厉，突然完全丧失其规定的功能，主要表现为开路、短路或参数严重漂移。潜在性失效是指静电放电能量较低，仅在器件内部造成轻微损伤，放电后器电参数仍然合格或略有变化。

    但器件的抗电过应力能力已经明显削弱，或者使用寿命已明显缩短，再受到工作应力或经过一段时间工作后将进一步退化，直到造成失效。在电子工业生产中．不产生静电是不可能的，而静电积聚和静电放电是产生危害的根源。电子工业中静电防护的根本目的就是在电子元器件、组件和设备的生产和使用过程中重视防静电。

    通过各种手段，对可能产生静电的地方要防止静电的积聚，并对己存在的静电积聚采取措施迅速消散掉。在生产过程中戴上防静电的腕带、工作服、鞋袜、帽和手套通过静电屏蔽，可以有效防止静电放电。